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6英寸高輸出照射設備 QEF160

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商品說明

鏈接：http://www.quark-tec.com/chinese/product/1.html#02



商品參數(shù)

用途

UV臭氧洗

凈干式蝕刻/軟件灰化

UV退火

表面改性

去除光刻膠殘渣

玻璃粘合

CVD光等的成膜

規(guī)格

電源

設定功率500W／1unit
電源電壓AC200V  3相
外形尺寸505(W)×545(D)×120(H)mm
重量18kg
冷卻自來水

燈箱

燈光172nm波長平板型
照明強度30mW/cm2 照明分布±5%
照明窗167×167mm
外形尺寸400(W)×300(D)×184.3(H)mm
重量12kg
冷卻氮氣
功能

照明度顯示屏功能

輸出控制功能

可以安裝在真空設備中

新產(chǎn)品輸出波長126nm真空紫外線的照明設備

電話：13337806932（鄭林）

          13305169532（鄭榮）

郵箱： Zhenglin@manotech.com.cn

地址：南京市棲霞區(qū)恒泰路6號（鑫貴方機電）

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